透明的高导电近红外反射镀膜玻璃及其制备方法

<申请号>200610154890

   本发明公开的透明的高导电近红外反射镀膜玻璃由衬底和镀在衬底上的近红外反射膜层组成，近红外反射膜层的电子载流子浓度在１．０×１０↑［２１］ｃｍ↑［－３］～６．０×１０↑［２１］ｃｍ↑［－３］。其制备采用磁控溅射法，以锌镓合金为靶材，以Ａｒ和Ｏ↓［２］作为溅射气体，将衬底清洗后放入直流磁控溅射装置反应室中，反应室抽真空，在０．５～３．０Ｐａ压强下，于２５～６００℃下进行溅射生长。本发明制备方法简单，易操作、有利于工业化生产。制备的近红外反射镀膜玻璃具有高透明高红外反射的特点，电子载流子浓度在１．０×１０↑［２１］ｃｍ↑［－３］以上。已达到近红外高反射率玻璃镀膜的技术要求，在遮阳型红外反射玻璃上有巨大的应用，而且也可以作为科研中高端的紫外和红外滤波片。

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