一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法

申 请 号： 200610053955.9 申 请 日：  2006.10.25 
名 称：  一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法  
公 开 (公告) 号： CN1963460  公开(公告)日：  2007.05.16  
主 分 类 号：  G01N21/00(2006.01)I 分案原申请号：  
分 类 号：  G01N21/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I  
颁 证 日：   优 先 权：  
申请(专利权)人：  浙江大学  
地 址： 310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号 
发 明 (设计)人： 韩高荣;刘 涌;宋晨路;汪剑勋;刘军波;刘起英  国 际 申 请：  
国 际 公 布：  进入国家日期：  
专利 代理 机构：  杭州求是专利事务所有限公司  代 理 人： 韩介梅 
摘要　  
 本发明涉及一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法，包括如下步骤：建立薄膜厚度h、折射率n、消光系数k与薄膜透射率、反射率的函数关系，与实测镀膜玻璃的可见光透射、反射光谱联立构成曲线拟和问题，利用模拟退火法、牛顿迭代法相结合的两步法求解这个曲线拟和问题，从而获得薄膜光学参数的测量结果。本发明与已有的相应技术相比，更适于镀膜玻璃薄膜的测量，具有快速准确的测量效果，测量结果稳定，而且方法简便易行，成本低廉。