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玻璃衬底的预多晶硅被覆

  • 来源:互联网
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  • 2014-12-29
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申 请 号: 01815870.6 申 请 日:  2001.08.27 
名 称:  玻璃衬底的预多晶硅被覆  
公 开 (公告) 号: CN1469848  公开(公告)日:  2004.01.21  
主 分 类 号:  C03C17/22 分案原申请号:  
分 类 号:  C03C17/22;C03C17/34  
颁 证 日:   优 先 权: 2000.8.28 US 09/649,724 
申请(专利权)人:  应用材料有限公司  
地 址: 美国加利福尼亚州 
发 明 (设计)人: K

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