玻璃衬底的预多晶硅被覆
申 请 号: 01815870.6 申 请 日: 2001.08.27
名 称: 玻璃衬底的预多晶硅被覆
公 开 (公告) 号: CN1469848 公开(公告)日: 2004.01.21
主 分 类 号: C03C17/22 分案原申请号:
分 类 号: C03C17/22;C03C17/34
颁 证 日: 优 先 权: 2000.8.28 US 09/649,724
申请(专利权)人: 应用材料有限公司
地 址: 美国加利福尼亚州
发 明 (设计)人: K
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