基板检测设备及玻璃基板检测设备
申 请 号: 200610172429.4 申 请 日: 2006.12.27
名 称: 基板检测设备及玻璃基板检测设备
公 开 (公告) 号: CN1987436 公开(公告)日: 2007.06.27
主 分 类 号: G01N21/896(2006.01)I 分案原申请号:
分 类 号: G01N21/896(2006.01)I;G01N21/89(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I
颁 证 日: 优 先 权:
申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
地 址: 中国台湾新竹市
发 明 (设计)人: 魏仲立;郭永仁 国 际 申 请:
国 际 公 布: 进入国家日期:
专利 代理 机构: 隆天国际知识产权代理有限公司 代 理 人: 潘培坤
摘要
一种基板检测设备及玻璃基板检测设备,其与输送装置配合使用。输送装置具有输送面并用于输送至少一个基板。基板检测设备包含支撑座、抬升机构、光盒及驱动机构。抬升机构设置在支撑座上。抬升机构具有多根抬升支架,每一抬升支架位于输送面下方且与输送面平行设置。光盒应与抬升机构相对应设置,用于检视玻璃基板。驱动机构设置于支撑座中,并与该抬升机构连接。
来源:国家知识产权局
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