新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池

申 请 号： 95207923.2 申 请 日：  1995.04.17 
名 称：  新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池  
公 开 (公告) 号： CN2274375  公开(公告)日：  1998.02.11  
主 分 类 号：  H01L31/105 分案原申请号：  
分 类 号：  H01L31/105;H01L31/02  
颁 证 日：  1997.12.05 优 先 权：  
申请(专利权)人：  南开大学  
地 址： 300071天津市卫津路94号 
发 明 (设计)人： 孙仲林; 徐温元; 耿新华  国 际 申 请：  
国 际 公 布：  进入国家日期：  
专利 代理 机构：  南开大学专利事务所  代 理 人： 解松凡; 胡安朋 
摘要　  
  本实用新型的名称是新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池，属于非晶硅材料光电器件。现有技术中，采用等离子体辉光放电制备非晶硅光电器件时，有两个问题：一是器件中存在透明导电电极（ＩＴＯ）使光电流传输特性不好，二是器件内部存在较多界面态，导致光电流损失。本实用新型采用了：１．在透明导电电极（ＩＴＯ）和Ｐ层之间制备一高传输Ｔ层膜２，在器件的Ｐ层和Ｉ层之间制备梯度层，并进行后Ｈ+处理，使电流增大，电压增高，改善了电池的性能，扩大了电池的使用范围。