一种太阳能电池及其制备方法

申 请 号： 200610044272.7 申 请 日：  2006.05.18 
名 称：  一种太阳能电池及其制备方法  
公 开 (公告) 号： CN1866546  公开(公告)日：  2006.11.22  
主 分 类 号：  H01L31/042(2006.01)I 分案原申请号：  
分 类 号：  H01L31/042(2006.01)I;H01L31/075(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I  
颁 证 日：   优 先 权：  
申请(专利权)人：  威海蓝星玻璃股份有限公司  
地 址： 264205山东省威海市经济技术开发区青岛中路中路98号 
发 明 (设计)人： 莫建良;王 伟;汪建勋;解欣业;王华新;刘先平  国 际 申 请：  
国 际 公 布：  进入国家日期：  
专利 代理 机构：  济南金迪知识产权代理有限公司  代 理 人： 赵会祥 
摘要　  
 本发明涉及可再生能源领域的硅薄膜太阳能电池技术领域，具体地说是一种太阳能电池及其制备方法，特征是在沉积窗口层p(1)前用H等离子体对透明导电膜 T进行预处理形成表面处理层，并经由此表面处理层制备所述非晶硅pin结和微晶硅pin结，方法为：透明导电膜TCO基片准备、TCO基片电极激光刻槽、TCO表面处理层制备、叠层pin结制备、pin结刻槽划线、背电极制备、背电极刻槽，本发明提高了太阳能电池的转换效率，降低了S-W效应，整个工艺过程流程简单，易于控制，产品成品率和优等品率高，电池转换效率高，成本低，具有大规模批量生产的优势。